一、本計畫旨在建立次世代半導體材料與元件所需的核心研究能量，支持學術界就材料生長、材料行為、製程整合、元件操作及鑑測方法提出創新研究構想，建構材料–製程–元件與驗證的鏈結，補足現階段研究端與產業端在材料理解、製程評估與鑑測方法上的缺口。
二、徵求重點摘要如下：
(一)研究主軸：
1.半導體材料、製程與元件行為之研究
2.跨尺度量測、鑑測技術與資料分析方法
(二)計畫類型：以申請3年期單一整合型計畫為限。
(三)執行期間：自115年6月1日至118年5月31日採分年核定多年期計畫。
(四)計畫類別：請選擇「專題類–隨到隨審計畫」，計畫類別勾選「一般策略專案計畫」，研究型別為「整合型計畫」，計畫歸屬為「自然處」，學門代碼為「M9201－前瞻半導體」，子學門代碼則依研究內容擇定為「M920102－前瞻半導體－關鍵元件材料」或「M920101－前瞻半導體－檢測技術」。
(五)其他：
1.本計畫列入國科會專題研究計畫件數計算額度，經核定補助後，列入總計畫主持人執行計畫件數，子計畫主持人則不列入計算。
2.本計畫屬專案計畫，審查未獲通過者，無申覆機制。
三、如有意申請者，請於115年2月21日(六)前完成國科會系統申請，以利本校於115年2月26日(四)前備函向國科會申請。
四、相關說明及詳細內容，請參考國科會徵件公告（請點選）。
