一、國科會徵求115年度「先進矽基半導體設備關鍵技術研發專案計畫」，徵求重點摘要如下：
(一) 研究議題：
1.半導體前段製程設備之關鍵元件、模組或次系統
2.半導體3DIC先進封裝製造測試設備
3.矽基半導體檢測設備
(二)計畫類型：單一整合型，需包含總計畫與至少3項子計畫，總計畫主持人須同時主持1項子計畫，篇幅以50頁為限。
(三)執行期間：3年期，自115年6月1日至118年5月31日。
(四)申請資格：須符合國科會補助專題研究計畫作業要點之申請機構與計畫主持人及共同主持人之資格。
(五)申請方案：線上申請，屬「專題類-隨到隨審計畫」；計畫類別為「一般策略專案計畫」；計畫歸屬「工程處」；研究型別請選擇「整合型計畫」；學門代碼為「E9848前瞻機器人模組與系統整合」。
(六)其他：
1.跨領域合作：需由跨領域學者(例如機械、材料、物理化學、電機控制或資訊軟體等相關領域)組成研究團隊。
2.本計畫以強化產學合作、落實產業應用為目標，故學界研究團隊提案時必須邀請國內業界或法人單位參與共同合作，並提供「合作企業參與計畫意願書」。
3.未獲補助者，恕不接受申覆。
二、有意申請者，請於115年2月21日前，至國科會系統完成申請，以利本校依規定於115年2月25日前備函造冊到國科會申請。
三、相關說明及詳細內容請參考國科會徵件公告（請點選）。
